E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ドライポンプ StdPbc-1016 This test method clarifies the

This test method clarifies the measurement methods and measurement locations

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SEMI E4-0699 (Reapproved 0612)

半導体製造装置は異なった複数の装置によって供給されたモジュールを使用して組み立てられることが多くなっている。それぞれのモジュール製造業者が静電気の制御方法の有効性を示すために，このガイドの試験方法を使用すると同時に，エンドユーザにより同じ試験が完成したシステムに適用されることが推奨される。

E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ドライポンプ StdPbc-1016 This test method clarifies theNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee20121220global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org1998420073 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the